透反射金相顯微鏡是一種專門用于研究金屬材料組織結構的精密光學儀器。采用高分辨率、低像散和良好的物鏡系統,以及計算機輔助設計等新技術,為材料科學和工程學領域的研究提供了強大的工具。其原理是基于折射和反射現象。當光束穿過透鏡到達樣品表面時,一部分光線被折射進入樣品內部,另一部分光線被反射回來。通過樣品反射的光線,透反射金相顯微鏡能夠揭示出材料的內部結構和組織。
一、光學系統
功能:實現光線的聚焦、放大與成像,是顯微鏡的核心部分。
組成與特點:
物鏡組
類型:
低倍物鏡(如4×、10×):數值孔徑(NA)較小,景深大,適合快速定位樣品區域。
高倍物鏡(如40×、100×):NA值高(如100×油鏡NA可達1.25),分辨率強,但景深淺,需精確調焦。
特殊物鏡:如暗場物鏡(斜射照明)、偏振物鏡(帶起偏/檢偏功能)、熒光物鏡(激發特定波長光)。
特點:物鏡前端通常標注放大倍數、NA值及工作距離(WD),100×油鏡需配合浸油使用以提升分辨率。
目鏡組
類型:
普通目鏡(如10×、15×):提供二次放大,部分目鏡帶刻度(如視場直徑18mm)用于測量。
高眼點目鏡:適合佩戴眼鏡者使用,出瞳距離長(>15mm)。
測微目鏡:內置分劃板(如0.1mm刻度),用于直接測量樣品尺寸。
聚光鏡系統
明場聚光鏡:
結構:由多片透鏡組成,可升降調節(如阿貝聚光鏡NA=1.25)。
功能:將光源發出的光線聚焦成平行光,均勻照射樣品。
暗場聚光鏡:
結構:中心遮光板+環形透鏡,使光線以斜角照射樣品。
功能:僅散射光進入物鏡,適用于觀察晶界、缺陷等低對比度結構。
偏振聚光鏡:
結構:內置起偏鏡(偏振片),與檢偏鏡(物鏡后端)配合實現偏振光觀察。
補償器與濾光片
補償器:如λ/4或λ/2波片,用于增強偏振光觀察中的相位差對比度。
濾光片:
綠色濾光片:減少眩光,提升圖像清晰度。
黃色濾光片:適用于觀察熒光樣品,阻斷激發光干擾。
二、機械系統
功能:支撐光學部件,實現樣品定位與調焦。
組成與特點:
載物臺
結構:
雙層載物臺:上層為樣品放置平臺(帶X/Y軸移動旋鈕),下層為基座。
旋轉載物臺:支持360°旋轉,便于觀察各向異性樣品(如晶粒取向)。
功能:
移動范圍:通常X/Y軸移動范圍≥50mm,精度≤1μm。
固定裝置:彈簧壓片或磁性夾具,防止樣品移動。
調焦機構
粗調焦手倫:
功能:快速調節載物臺高度,使物鏡接近樣品(避免碰撞)。
特點:行程長(如20mm),但精度低(約10μm/轉)。
微調焦手倫:
功能:精細調焦,實現圖像清晰化。
特點:行程短(如0.2mm),精度高(≤0.1μm/轉),部分顯微鏡配備微調焦限位裝置防止過調。
物鏡轉換器
結構:旋轉式轉盤,可安裝3-5個物鏡。
特點:
定位精準:物鏡切換后自動對齊光軸,偏差<1μm。
防撞設計:部分轉換器配備彈簧緩沖裝置,避免物鏡碰撞樣品。
三、照明系統
功能:提供穩定、可控的光源,支持透射與反射觀察模式切換。
組成與特點:
光源類型
鹵素燈:
特點:色溫約3200K,光譜連續,適合明場/暗場觀察。
壽命:約2000小時,需定期更換。
LED燈:
特點:壽命長(>50000小時)、節能、色溫可調(如5500K白光)。
應用:支持熒光觀察(需特定波長LED)。
汞燈/氙燈:
特點:高強度紫外光,適用于熒光顯微鏡。
照明模式
透射照明:
路徑:光源→聚光鏡→樣品→物鏡→目鏡。
適用樣品:薄片(如金相試樣、透明聚合物)。
反射照明:
路徑:光源→聚光鏡→樣品表面反射→物鏡→目鏡。
適用樣品:不透明樣品(如金屬、陶瓷)。
透反射切換:
機制:通過旋轉聚光鏡或插入反射鏡實現模式切換。
光闌控制
孔徑光闌:
位置:位于聚光鏡下方。
功能:調節進入物鏡的光線錐角,控制分辨率與對比度。
視場光闌:
位置:位于光源出口處。
功能:限制照明區域,減少鏡筒內部反射光。
四、圖像采集與處理系統
功能:記錄、分析顯微圖像,提升數據可用性。
組成與特點:
相機接口
類型:
C接口:標準接口,兼容多數工業相機。
F接口:適用于高分辨率科研相機(如sCMOS)。
特點:支持相機旋轉(0°/90°/180°/270°),適應不同觀察方向。
圖像采集軟件
功能:
實時顯示:支持高幀率(如30fps)實時觀察。
參數調節:曝光時間、增益、白平衡、對比度等。
標尺與測量:自動生成比例尺,支持長度、面積、角度測量。
圖像處理:去噪、銳化、偽彩色增強、3D重建等。
輸出與存儲
格式:支持TIFF、JPEG、BMP等通用格式,部分軟件支持RAW格式保留原始數據。
存儲:內置硬盤或外接USB存儲設備,容量≥1TB。
五、輔助模塊(可選)
加熱臺:
功能:支持樣品加熱(如觀察相變過程),溫度范圍室溫至300℃。
冷卻臺:
功能:配合液氮冷卻,觀察低溫相變或超導材料。
自動進樣器:
功能:實現樣品自動加載與卸載,提升高通量檢測效率。
激光共聚焦模塊:
功能:通過點掃描獲取三維層析圖像,分辨率達納米級。
